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無塵室操作時的一般規定

作者: 時間:2021-06-17 10:33:01點擊:5519次

  1.處理芯片時,必須要戴上無纖維的手套,使用干凈的鑷子挾持芯片,請不要以手指或其它任何東西接觸芯片,遭碰觸被污染過的芯片必須經清洗,才可以繼續使用:

  (1)即挾持芯片端如被碰觸過,或是鑷子不小心掉落地上,必須要去清洗不能用紙巾或布擦拭臟鑷子。

  (2)芯片清洗之后要進行下一程序前,若不小心用手指碰觸過,必須重新去清洗。

  (3)把芯片放置在石英舟上,準備進爐管時,若發現所用的鑷子有污損現象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,必須將芯片重新去清洗,并立即更換干凈的鑷子使用。

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  2.芯片必須要放置盒中,蓋起來把它存放于規定位置,避免讓它暴露。

  3.禁止在芯片上談話,防止唾液濺于芯片上,在芯片進擴散爐前,應特別注意,防止上述動作產生,若芯片上沾有纖維屑時,用氮氣槍噴之。

  4.從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英舟(QuartzBoat)等載具(Carrier)上,取出芯片時,必須垂直向上挾起,避免刮傷芯片,顯微鏡鏡頭確已離芯片,方可從吸座上移走芯片。

  5.芯片上,若已長上氧化層,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。

  6.操作時,不論是否戴上手套,手絕不能放進清洗水槽。

  7.使用化學站或烤箱處理芯片時,務必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內,不可使用塑料盒。

  8.擺置芯片于石英舟時,若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,然后再進氧化爐。

  9.請勿觸摸芯片盒內部,如被碰觸或有碎芯片污染,必須重作清洗。

  10.手套,廢紙及其它雜碎東西,請勿留置于操作臺,手套若燒焦、磨破或纖維質變多必須換新。

  11.非經指示,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。

  12.奇怪的味道或反應異常的溶液,顏色,聲響等請即通知相關人員。

  13.儀器因操作錯誤而有任何損壞時,務必立刻告知負責人員或老師。

  14.芯片盒進出無塵室須保持干凈,并以保鮮膜封裝,違者不得進入。

  15.無塵室內一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入。

  


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