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無塵車間為什么要控制溫濕度

作者: 時間:2021-06-01 09:45:06點擊:6043次

  無塵車間的溫濕度主要是根據加工工藝要求來確定,在可以滿足加工工藝的條件下,首選應該考慮的就是人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的不斷提高,工藝對溫度、濕度的要求也隨之越來越高,所以必須達到一定的溫濕度等級。

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  例如在大規模集成電路生產光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。24um線性膨脹,所以必須有±0。1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。


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