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潔凈室靜電的預防以及處理方法

作者: 時間:2021-06-30 16:21:16點擊:5562次

  潔凈室在許多行業是必不可少的,尤其是在微電子工業方面有著嚴格的要求,例如生產較高檔的電子元器件就必須要有潔凈的工作環境,有關檢測部門在檢測時也需要有潔凈的工作環境來滿足其功能。為了使這個潔凈環境能滿足生產、檢測等要求,我們必須克服一個不容忽視的因素,那就是靜電。

  在里生產的各類電器元器件,基本上都需要防靜電,因為生產高性能要求的產品時,若有靜電吸附,被吸附的微塵就成了擊穿中心,就會使材料的絕緣特性下降等。元器件、設備、甚至墻面或地板上都可能隨時產生靜電荷,有了靜電荷就有了靜電吸附的現象,導致潔凈室的潔凈度的下降。同時,潔凈度下降后,空氣中的微粒數量增加,這樣更加劇了靜電吸附現象的發生。

  

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  因此潔凈室在關注污染控制的同時也應注意防止靜電,下面就從3方面來述說一下靜電的防止方法。

  1、利用潔凈室的空氣、溫濕度來控制

  我們在設計潔凈室時一般利用其固有的條件來消除靜電。因為空氣濕度在RH50%左右或溫度在23℃左右條件下,其形式的空氣導電會有良好的防靜電環境。設計條件允許時盡量滿足靠攏它。采用離子發生器也可消除靜電和防止帶靜電等。

  2、消除人體帶電

  進入潔凈室的人員必須穿防靜電潔凈服、穿戴防靜電手套,穿防靜電鞋等來消除靜電。運輸周轉中的工具如小車,箱子也應采用防靜電的產品。

  靜電放電在很多情況下是我們所不希望的,它在具有易燃易爆氣體的場所極易導致危險的火災。而且潔凈室內的靜電對產品的傷害是極大的,因此,潔凈室靜電的控制是不可忽視的。

  3、防止潔凈室里產生靜電

  我們必須在設計和采用材料時就選用不易產生靜電,或產生靜電能迅速泄漏的材料。在以往的設計中我們為了使靜電電荷有迅速逃逸的通路,往往只注重對地板的作用,即采用防靜電地板來消除靜電。并且只把系統電阻值限制在105—108歐姆之間來作為衡量防靜電的標準,目前看來是遠遠不夠的。

  現在歐美、日本等國家在設計潔凈室時已經不局限于防靜電地板了,對潔凈室隔斷、墻壁及潔凈的結構系統等都考慮在內。目前在設計時我們也會充分考慮到防靜電的要求,如采用噴涂靜電涂料、防靜電蠟等來作為輔助措施或補救方法來克服靜電。使潔凈室不產生或少產生靜電。


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