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如何防止微粒子的污染?

作者: 時間:2021-10-19 11:06:57點擊:7165次

  一、不帶入

  1) 進入潔凈車間之前,要求操作人員需將機器及零件清洗干凈,方可帶入。

  2) 進入潔凈車間的操作人員須穿著不產生灰塵和靜電的特殊導電纖維制成的干凈衣服、帽子、鞋子、手套、口罩等。

  3)通過風淋室時,在進入潔凈室前,用高速潔凈空氣清除附著在衣物表面的顆粒物。

  4) 機器和材料帶入潔凈車間前,必須盡可能以密閉狀態帶入潔凈車間前室,維修后用超純水清洗干凈,再帶入潔凈車間。被風淋吹

  5)在干凈的工作場所,全程必須佩戴密閉的安全帽和帶過濾網的小風扇。

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  二、不制造

  在控制最大污染源凈化車間人為產生的粉塵量的同時,還要控制作為第二大污染源的制造機械產生的粉塵量。隨著物品移動,摩擦和接觸剝離會產生灰塵,當物品移動時,也會產生顆粒。因此,為了盡量減少揚塵量,應采取以下措施。

  1)減少接觸和剝落灰塵的作用方式。

  2) 使用低磨損和低粉塵的材料。

  3) 使用低塵潤滑劑。

  4)本機采用氣壓浮動的非接觸式工作原理。

  三、不儲備

  如果“禁止引進”技術能夠徹底執行,就可以保持潔凈室的清潔度。但在實踐中,由于人員和貨物的頻繁進出以及制造機器的移動,在龐大的潔凈車間中無法實現完美的清潔。因此,快速將“無儲備”技術應用于過濾器以去除產生的顆粒是非常重要的。通常,產生的顆粒會通過重力和靜電吸附留在周圍物體的表面。突然的振動和不穩定的氣流將這些積累的顆粒重新帶回空氣中,增加了初級顆粒污染的風險。

  在超凈車間中,完全去除顆粒的空氣必須以0.3至0.4 m/s的速度從天花板垂直向下流向地面。它是通過在大約10 秒內完全交換室內空氣和完全過濾的空氣來計算的。同時,需要精確控制氣流方向。尤其是空氣流路有障礙物時,容易產生空氣渦流,容易形成空氣滯流區,容易附著在表面,造成污染。

  控制氣流可以防止顆粒積聚,但不能防止帶電表面上的顆粒積聚。

  使用高性能過濾器,潔凈室中懸浮顆粒的濃度可以輕松達到零。真正的生產現場是由工人、機器和周圍機械的灰塵以及基板運輸過程中接觸到的零件和材料的灰塵造成的.通過在制造產品周圍突出,在零件的清潔表面上發生顆粒污染。

  四、排除

  如果沒有辦法避免可以產生大量顆粒的機器,為了潔凈車間一直保持潔凈狀態,所以可以直接直接外部排氣,由于必須引入相同數量的外部空氣,需要消耗大量耗材。因此,不能稱之為好的辦法。因此,它不僅在盡可能壓縮排氣量的同時將廢氣排到潔凈室,而且還要采取措施使去除顆粒后的空氣返回潔凈室。

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